巻　頭　言 (Vol.55 No.2)

半導体エレクトロニクス特集号発刊にあたって
藤田静雄	141

解　　説 (Vol.55 No.2)

Cat-CVD法による窒化シリコン薄膜の低温推積−気相診断と膜質評価−
梅本宏信・増田　淳・松村英樹・南川俊治・部家　彰・高野昌宏・米澤保人・仁木敏一・室井　進・南　茂平	142

論　　文 (Vol.55 No.2)

固相反応によるバルクβ-FeSi2結晶生成用ロッド状整列共晶組織の形成とその方位解析
山内　勇・三品明生・赤堀友彦・藤原康文	148
ファインチャネルミスト法によるZnO透明薄膜の作製とその特性
川原村敏幸・西中浩之・亀谷圭介・増田喜男・谷垣昌敬・藤田静雄	153
酸化亜鉛表面の有機分子修飾
尾形健一・小池一歩・平田泰之・佐々誠彦・井上正崇・矢野満明	159
SnO2ガスセンサによる臭い識別の検討
藤本　晶・金島　岳・奥山雅則	165
BaTiO3およびPbTiO3の自発分極の結晶異方性と単位胞体積依存性の第一原理解析
Dan Ricinschi・金島　岳・奥山雅則	169
SRリソグラフィを用いて製作した複合圧電材料の内部共振
平田嘉裕・沼澤稔之・仲前一男・高田博史	173
低露光量電子ビームリソグラフィにおけるレジストパターンエッジラフネスへの電子散乱の影響
小寺正敏	177